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什么是干膜?干膜曝光?

文章出处 :公司动态 责任编辑 :小编 发表时间:2026-04-07
  



什么是干膜?


干膜(Dry Film)是一种在半导体封装、电路板制造(PCB)、以及光刻加工中常用的感光性材料,属于光刻胶的一种,但和常见的液态光刻胶不同,它是以薄膜的形式存在的。

干膜是预先涂布了感光光刻胶的塑料膜,在使用时通过热压覆膜(Laminate)的方式贴附在基板表面,经紫外光(UV)曝光显影后形成图形,然后进入蚀刻或电镀等后续工艺。
之所以叫“干”膜,是相对于早期液态的“湿膜”(感光油墨)而言的。它是一种固态、薄膜状的感光材料,使用时不需烘干溶剂,直接通过加热加压贴合在板子上,因此更加清洁、方便,厚度也更均匀。

干膜的结构组成?

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干膜通常由三层组成,这种结构保证了它在使用前不会意外曝光或粘连:

中间层(支撑层/感光层):这是核心层,由感光性高分子材料(如光聚合单体、粘合剂、光引发剂等)构成。平时它是可塑的,受到特定波长紫外线照射后会发生聚合反应(硬化)

上层(载体层/聚酯薄膜):一层较厚的保护膜,通常为聚酯(PET),作用是防止干膜在卷曲和运输时粘连,并在贴膜时保护感光层。贴膜后,这层通常会被揭掉(具体时机取决于工艺,有的是在曝光前揭,有的是在显影前揭)。

下层(保护层/聚乙烯薄膜):一层较薄且软的保护膜,通常为聚乙烯(PE),直接接触感光层。在贴膜机将干膜压到板子上之前,这层膜会被实时剥离并收走

干膜曝光的基本原理?

光化学反应机制:紫外光激活光引发剂→产生游离基→引发单体聚合交联→形成不溶于稀碱的大分子结构

影响干膜曝光成像质量的因素?

  1. 干膜本身的性能:分辨率,粘附力,感光灵敏度,膜厚均匀性等
  2. 光源的选择
  3. 曝光量的控制
  4. 基板的质量

等等

怎么选择光源?

每种干膜都有特定的光谱吸收曲线,而每种光源也具有独特的光谱发射分布。若两者的峰值重合或大部分重叠,则曝光效果最佳。
国产干膜吸收区主要集中在310–440 nm,匹配的理想光源一般为:
高压汞灯:传统曝光机的标配。它在紫外波段有很强的发射谱线,尤其在365nm、405nm、436nm处强度很高,能很好地覆盖干膜的吸收范围。
碘镓灯:也称为金属卤化物灯。它的光谱经过特殊调配,在350nm-450nm波段有非常强的辐射强度,是目前很多高性能曝光机的主流选择,特别适合对曝光速度和要求较高的场景。-
镝灯:同样在干膜敏感的310nm-440nm波段有较大辐射强度,也是一种可选的高强度紫外光源。

新型LED UV光源:这是近年来快速普及的技术。LED光源的最大优势是发出高度单色光,可精准控制在365nm385nm/395nm等特定波长。因为光谱纯净,没有红外热辐射,能极大减少底片受热变形,且节能、寿命长,是精细线路曝光的理想选择。




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