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晶圆切割机
晶圆切割机
主要是利用高速旋转的主轴带动刀片高速旋转 (30000r/min) 在待切割样品表面进行预设程序的直线切割, 切割时通有高纯度的切割水对刀片和主轴进行冷却。通过 X 轴、 0 轴、 Y 轴和 Z 轴控制样品切割方向及切割高度, 其中 X 轴负责待切割样品的水平方向传递、 0 轴负责待切割样品的平面旋转角度, Y 轴负责刀片进刀方向, Z 轴负责切割高度的控制, 同时该设备还配置了触摸式液晶显示器及形化用户接口, 装配了自动校准、 自动对焦、 自动检查刀痕宽度等高级影响识别系统。实现对切割参数及程序的精确设定,并通过加工条件显示画面, 对工作状态和设备运行状态进行同步监控, 保障切割完成质量。 DAD 3350 半自动切割机。

晶圆切割机

 详情说明
产品介绍

主要功能:是利用高速旋转的主轴带动刀片高速旋转 (30000r/min) 在待切割样品表面进行预设程序的直线切割, 切割时通有高纯度的切割水对刀片和主轴进行冷却。 通过 X 轴、 0 轴、 Y 轴和 Z 轴控制样品切割方向及切割高度, 其中 X 轴负责待切割样品的水平方向传递、 0 轴负责待切割样品的平面旋转角度, Y 轴负责刀片进刀方向, Z 轴负责切割高度的控制, 同时该设备还配置了触摸式液晶显示器及形化用户接口, 装配了自动校准、 自动对焦、 自动检查刀痕宽度等高级影响识别系统。 实现对切割参数及程序的精确设定, 并通过加工条件显示画面, 对工作状态和设备运行状态进行同步监控, 保障切割完成质量。 DAD 3350 半自动切割机

    

该设备通过配置不同的切割刀, 能够对硅片、  陶瓷、 玻璃或加工材料进行切割加工。 

加工尺寸为 8 英寸及其以下不规则样品 ( 最小加工尺寸为 2mm) . 加工物尺寸     (mm) 及厚度 ( mm) 范围 2~200 、  0.1~ 1.5。 设备为  DWR1720  水循环系统, 为切割机提供高纯度恒温切割水。 X 轴进刀速度有效范围 (mm/s)0 .1-600/Y 轴最小步进量 (mm)0 .0001,精度 (mm)0 .003   以内 / 260 Z 轴重复精度 (mm)0 .001 标准对应刀片直径 (mm)58 刀痕宽度硅片 (μm) 50~ 60 玻璃  (μm) 200~300


DAD 3350 切割机的安全注意事项 (1)DWR1720 水循环系统显示屏上的参数均为调试设置好的参数, 请勿改动, 否则无法进行实验。 

(2)DWR1720 水循环系统的自来水开关实验结束必须关闭, 以防发生跑水。 

(3)DAD3350 切割机换刀操作必须由设备工程师进行, 请勿自己换刀, 以免发生危险。 

(4)  DWR1720 和 DAD3350  出现警报信息时, 除切割完成时的警报, 均需要通知设备工程师或工艺工程师后再解决, 不可擅自做主。 

(5) 切割参数设置时, 切勿修改操作规程上没有规定修改的参数, 若有特殊需自来水开关。 (6) 切割进行时, 勿随意打开样品盖和防水盖。

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