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常温晶圆键合机
常温晶圆键合机
通过常温 (室温) 工艺可以获得与基材相当的粘合强度。粘接不会产生热应变或热应力、 设备质量稳定、 易于应对小型化。无需加热和冷却时间、 实现高吞吐量。广泛的粘接材料选择硅基材料, 金属材料,化合物半导体材料, 光学材料, 氧化单晶材料可以粘合、 也可以粘合不同材料。用于 MEMS 的生产。

常温晶圆键合机

 详情说明
产品介绍

通过常温 (室温) 工艺可以获得与基材相当的粘合强度。 粘接不会产生热应变或热应力、 设备质量稳定、 易于应对小型化。 无需加热和冷却时间、 实现高吞吐量。 广泛的粘接材料选择硅基材料, 金属材料, 化合物半导体材料, 光学材料, 氧化单晶材料可以粘合、 也可以粘合不同材料。 用于 MEMS  的生产。image.png

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